第366章 超越1級的潔凈度!

因為尼康和佳能製造的光刻機是傳統的乾式光刻機,受限於摩爾定律的約束,想要提升光刻精度就只能繼續打磨激光鏡片。
這裏頭的技術差距已經不能簡單地用時間去衡量了,想要實現彎道超車也只有陳決這樣開了掛的人出手才行!
這個「爸」不是別人,就是大洋彼岸的鷹國!
光刻機的原型是參照了光電所的設計方案,不過為了保險起見,陳決加強了內部的供電系統的穩定性。
因為只要有人進出的地方就容易帶來懸浮顆粒物,從口鼻呼吸中帶出的水分子到灰塵,再到人體表面附著的細菌、真菌等等。
說完陳決就五指一張,從指尖冒出的金色電光像是鎖鏈一樣,一下子罩住了面前數個大型物資箱。
鷹國一看尼康和佳能兩家公司在光刻機領域里打出了狗腦,上來就直接勸和:「你倆別爭了,爸來了。」
要知道,光刻機的運作原理無非就是將波長較短的光源照射在塗抹了光刻膠的圓晶上,形成一道道細小的晶體管電路。
在原有基礎上提升25倍精度,如果交給ASML這類公司去研發那就是需要半個世紀。
但是根據儀器上的液晶屏幕顯示,這處地下工事的空氣里居然連1個顆粒物都沒有檢測到。
而讓陳決現目前感到糾結的是:「到底是採用傳統的乾式光刻機和圖書還是取巧的浸潤式光刻機?」
但是精度加工這玩意兒,越到後面進步水平就越慢。
因為從他指尖冒出的電光,不單單是將空氣里的灰塵、懸浮物都吸附清除,就連那些肉眼無法看見的水分子、細菌、病毒都在一瞬間被強電場擊穿化作了原子形態吸入了牆壁、地面之中。
看著面前堆積如山的材料,陳決先是摸了摸下巴陷入了短暫的沉思之中,隨後又從智能腕表中調取出了光電所發來的幾種光刻機設計圖紙。
而進入21世紀后,隨著半導體製造技術的升級,各大廠商對於光刻機的精度要求越來越高。
畢竟光刻機是非常精密的儀器,在裏面灌入水后,沒有人能保證光刻機是否還能繼續運行,也就沒有採納這個方案。
在強大的【物質干涉】技能下,只要陳決願意,這間地下工事內的所有物質都能粉碎成原子,更別提這些直徑在微米級的顆粒物了。
「直接上乾式的,原理更簡單,想要被仿製更不容易。」
在得到上頭的通知后,光電所幾乎將手裡的好東西都拿了出來,許多物資都是實驗室保密級別的,隨便拿出去一件都足以在市面上申請保護專利。
而在光刻機的核心激光部件處,一塊細小到連普通電子顯微鏡都難以看見的超微型激光鏡頭正在金色能量的和圖書干涉下一點點構築了出來。
「這樣的潔凈程度,就算是AMSL的核心實驗室都沒辦法做到!」光電所的這群科研人員議論紛紛。
這樣一套喜聞樂見的組合拳下去后,直接把腳盆雞的晶元產業干廢了一半。
這樣恐怖的空氣環境質量,哪怕是國外最頂尖的晶元製造廠商都無法做到。
按照現目前的國際標準,潔凈度等級一共分為9級,每一級的提升顆粒物的數量和直徑是呈現逐步減少的,而1級潔凈度是整個行業內最高的一套標準。
這樣的潔凈程度已經到了近乎無菌、無塵的地步。
這類空氣檢測儀器的工作原理,就是在一定時間內吸入固定體積的空氣,通過檢測到的微粒數量來確定整個工作環境的潔凈度。
光刻機中最核心的原件就是激光光源,激光發射的光源波長越短,最終得到的晶元精度就越高。
為了解決這種人為帶來的微粒傳播,各大晶元廠商都會在自家工廠的出入口設置數層的清潔關卡。
當時在光刻機製造這一塊,哪有風車國的ASML公司什麼事?這貨完全就是個小透明,壓根就在半導體領域里排不上號!
當然了,想要製造出原子級精度的光刻機並不是那麼一件容易的事情。
只是剛把儀器打開沒多久,那位叫小李的年輕人就出現了皺眉、www.hetubook.com.com詫異、最後到一臉驚愕的神情變化。
沒有過多解釋,走上前將面前的幾個巨大物資集裝箱給打開,裏面密密麻麻擺放著製造光刻機的各類原料。
可是這一套堪比天塹一樣的防護措施,到了陳決手中就如同擺設一樣,揮揮手就造出了一個更高級的潔凈環境。
在挨了一招鷹式霸拳只剩下半條命的尼康和佳能,則是因為技術儲備不足外加不敢創新,一直被卡在了193納米精度寸進不得。
如果只是1級的潔凈度還好,因為這樣的環境標準在許多醫院的無菌手術室、半導體工廠內都能見到。
湊巧風車國的ASML公司一聽到這個方案后如獲至寶,召集了一群工程師在鼓搗出了後來著名的浸潤式光刻機。
從特製的高壓輸送電纜,再到精密度極高的激光鏡片,還有數台用來製造光刻機零部件的3D印表機器。
至於市面上掌握著最先進激光鏡頭的並不是人們熟知的ASML公司,而是腳盆雞兩家公司:尼康和佳能。
隨後就是一套祖傳的拳法鷹式霸拳轟了上去,直接給兩家公司開出了反傾銷罰單外加開放核心專利技術,順帶給腳盆雞整個半導體產業開出了百分百關稅的罰單。
……
就是在1立方米的空間內,漂浮著不超過10個數量的0.1微米直徑的顆粒www.hetubook.com.com物!
這裏就不得不提一下,上世紀末腳盆雞在半導體產業領域可是強大到號稱半導體帝國,在內存和晶元領域一度佔據著全世界80%的份額。
好在這種糾結只持續了半分鐘,在瀏覽完光電所提供的設計方案后,陳決就嘴裏嘟囔道:「一鳥在手勝過百鳥在林!」
……
從靜電除塵到整套的防護服,能接觸到光刻機的工作人員每一個都是全副武裝,包裹地就跟去外太空的航天員一樣,目的就是為了防止污染到光刻機的工作環境。
整個半導體產業全靠尼康和佳能撐著,說他們是雙雄爭「爸」都不為過。
不過爭著爭著,這個「爸」就真的來了。
「所……所長,環境潔凈度超過1級了!」小李咽了咽口水,連聲音都有點發顫。
什麼是1級潔凈度?
「連一個顆粒物都檢測不出來?」
解決完了光刻機生產的環境問題,陳決感受到了來自林衛國等人投遞來的熾熱目光。
按照集成電路產業里的摩爾定律進行推算,想要將半導體產業的精度提升一倍所需的時間最少要經過18個月到24個月。
如此乾耗了幾年,一直到灣積電拿出了一個取巧的解決方案:那就是在激光發出的瞬間,利用水珠進行折射,將激光的波長縮短。
這樣的能力,已經不能用常理去解釋,已經徹底超出了和*圖*書現有科學技術的理解範疇。
伴隨著電漿能量的大功率輸入,以及【物質干涉】的能力影像下,那些原本冷冰冰的電纜、鏡片、金屬、橡膠等材料像是活了過來一樣,猶如一塊塊樂高積木,開始按照陳決的思路拼湊出了一台純白色的長方體光刻機。
起初尼康和佳能的工程師聽到這個方案,都覺得這玩意兒不是扯犢子嗎?
當然了,這裏面還有鷹國為ASML公司提供了核心技術,順便召集了數個國家的國家級實驗室參与到了浸潤式光刻機的研發,這才有了後來極紫外光,俗稱EUA光光刻機的誕生。
伴隨著「嘀嘀」幾聲響動,空氣檢測儀器開始運作,儀器上頭的管口開始吸收過濾環境中的空氣。
再加上陳浩剛剛手搓的一層全環繞式的環氧防靜電塗層,原本落後、滿是灰塵的這處地下工事在眨眼的功夫內就擠身進了全世界最頂級的潔凈室。
這樣巨大而誇張的轉變,自然是看地林衛國等人心神震動,盯著檢測儀器上那一長串的數字零久久不語。
要知道,就算是現目前的ASML公司都只掌握2.5納米的光刻精度,原子級精度相當於在ASML公司現有的精度基礎上進一步提升25倍。
那位叫小李的年輕人一聽頓時有些手忙腳亂,急急忙忙地從隨身的背包里取取出了一台攜帶型的空氣檢測儀器。
上一頁